美国 Pentagon Technologies（常被称为 QIII）的表面探头粒子计数器，既能测固体表面颗粒污染，也能用来检测无尘布洁净度 / 是否掉颗粒
- 分类：产品知识
- 发布时间：2026-04-30
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美国 Pentagon Technologies（常被称为 QIII）的表面探头粒子计数器，既能测固体表面颗粒污染，也能用来检测无尘布洁净度 / 是否掉颗粒
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一、仪器型号与核心能力
QIII 是表面粒子检测仪（SPD），不是普通空气粒子计数器，核心是直接扫描固体表面，数出每平方厘米的颗粒数。
常见型号（按粒径灵敏度）：
- QIII Ultra：0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm
- QIII Max / SM / ST：0.3μm、0.5μm、1.0μm、3.0μm、5.0μm、10.0μm
- QIII SX / LS：5μm～125μm / 5μm～300μm（大颗粒）
二、测 “表面颗粒” 怎么用（直接测）
- 开机自净，探头归零。
- 把专用表面探头轻贴在待测表面（设备、台面、晶圆、玻璃等）。
- 按测试键，3～10 秒直接读出：< >颗粒密度：颗 /cm² 或 颗 /in²各粒径通道数量（如≥0.5μm、≥1.0μm…）可做ISO 14644-9表面洁净度分级。
三、测 “无尘布洁净度 / 是否含颗粒”（两种方法）
方法 A：直接扫描无尘布表面（快速筛查）
- 把无尘布平铺在洁净硬台面上。
- 用 QIII 探头直接扫描布面，看初始颗粒数是否超标。
- 再轻擦 / 揉搓布面后再扫：颗粒数明显上升 = 无尘布掉屑 / 含颗粒。
方法 B：擦拭转移法（更准，符合 IEST-RP-CC004）
- 用待测无尘布在洁净空白板（如铝板 / 玻璃）上按标准压力擦拭。
- 用 QIII扫描擦拭区域，对比空白区：< >读数高 = 无尘布释放颗粒 / 本身不洁。可定量：每 100cm² 擦拭面积的颗粒残留量。
四、适用场景
- 无尘布 / 无尘纸来料检验、批次抽检
- 洁净室表面、设备、工装的清洁验证
- 包装材料、薄膜、基板的表面颗粒检测
五、结论
QIII 表面探头粒子计数器完全可以测：
- 物体表面颗粒污染（直接扫描，出颗 /cm²）；
- 无尘布洁净度 / 是否含颗粒（直接扫布面或擦拭转移法）。
需要我把无尘布测试整理成一页可直接执行的 SOP（含取样面积、压力、判据）吗？
